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一、用途
上海彼愛姆掃描電子顯微鏡TM3030
二、技術(shù)規(guī)格
上海彼愛姆掃描電子顯微鏡TM3030
| 項(xiàng) 目 | 內(nèi) 容 |
| 放大倍率 | 15X～30,000X(數(shù)字放大：2X、4X) |
| 觀察模式 | 標(biāo)準(zhǔn)模式、減輕荷電模式、大束流分析模式 |
| 圖像模式 | 形貌像、成份像、陰影像1、陰影像2、凹凸像 |
| 電子光學(xué)系統(tǒng) | |
| 電子槍 | 預(yù)對中發(fā)夾型鎢燈絲 |
| 加速電壓 | 5kV、15kV 、EDX |
| 透鏡系統(tǒng) | 3級電磁式透鏡會聚系統(tǒng) |
| 電位移 | ±50μm (WD=4.5mm、觀察條件：標(biāo)準(zhǔn)模式) |
| 能譜分析位置 | WD=10mm, TOA=35° |
| 樣品臺 | |
| 樣品臺控制 | 2軸手動(dòng)樣品臺 |
| 樣品可移動(dòng)范圍 | X：±17.5mm、Y：±17.5mm |
| *大樣品尺寸 | 直徑70mm |
| *大樣品厚度 | 50mm |
| 檢測器 | 高靈敏4分割半導(dǎo)體背散射電子檢測器 |
| 真空系統(tǒng) | |
| 自動(dòng)控制系統(tǒng) | 全自動(dòng)氣動(dòng)閥控制系統(tǒng) |
| *高真空度 | 1.5×10-5Pa |
| 可變真空度 | 6~270Pa(22steps) |
| 渦輪分子泵 | 30L/s 1臺 |
| 隔膜泵 | 1m3/h 1臺 |
| 真空計(jì) | 1臺 |
| 自動(dòng)功能 | |
| 自動(dòng)燈絲飽和 | 已配備 |
| 自動(dòng)電子束設(shè)定 | 已配備 |
| 自動(dòng)電子槍對中 | 已配備 |
| 自動(dòng)合軸 | 已配備 |
| 自動(dòng)聚焦、消像散 | 已配備 |
| 自動(dòng)亮度、對比度 | 已配備 |
| 自動(dòng)保護(hù)功能 | 帶有過電流保護(hù)功能、漏電遮斷器 |
| 計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng) | |
| 操作系統(tǒng) | Microsoft Windows® 7 |
| CPU | Intel® CoreTM2 Duo P8700(或與其兼容的PC) |
| 內(nèi)存容量 | 2GB以上 |
| 接口與端子 | USB2.0接口(2個(gè))、網(wǎng)路接口(以太網(wǎng)) |
| 觀察 | 15.4英寸LCD；屏幕分辨率1280×800像素 |
| 控制 | 鼠標(biāo)、鍵盤 |
| 掃描速度 | |
| TV掃描 | 640×480象素顯示，25幀/秒 |
| 快速掃描 | 全屏顯示，6.3幀/秒 |
| 慢速掃描 | 全屏顯示，1/4/20/40/80秒/幀 |
| 圖像數(shù)據(jù)存儲 | |
| 圖像存儲像素 | 640 × 480、1,280 × 960像素 |
| 圖像數(shù)據(jù)保存 | PC帶硬盤及其他記錄媒體 |
| 圖像存儲格式 | BMP、TIFF、JPEG |
| 圖像信息 | 微標(biāo)尺、微值、放大倍率、日期、時(shí)間、圖像編號、注釋、觀察條件、觀察模式、圖像模式、工作距離 |
| 輔助功能 | 圖像旋轉(zhuǎn)、簡單測量、三維動(dòng)畫維護(hù)指南 |
| 使用環(huán)境 | |
| 室溫 | 15°C ～30°C |
| 相對濕度 | 40%～70% |
| 電源 | 單相AC100～240V(*低90V、*高250V) 50/60Hz、3P插座 |
| 地線 | D類接地，電阻小于100Ω |
| 體積與重量 | |
| 主機(jī) | 330(長)×606(寬)×565(高)mm、63.0Kg(manual stage) 330(長)×630(寬)×565(高)mm、66.0Kg(motor drive stage) |
| 隔膜泵 | 145(長)×256(寬)×217(高)mm、4.5Kg |
